氧化物界面如何产生氧空位

　　在金属氧化物或其他含氧化合物中，晶格中氧原子(氧离子)的分离导致氧的损失和空位的形成。简单地说，它指的是氧离子从晶格中逸出所留下的缺陷。氧空位是半导体材料尤其是金